(资料图片仅供参考)
据晶升股份消息，近日，晶升股份自主研发的大尺寸CVD SiC化学气相沉积涂层成套设备完成整机出厂检验，正式装车发运交付客户，标志着公司在大尺寸碳化硅涂层工艺装备领域取得重要进展，为半导体热场关键部件的国产化制造提供了有力支撑。
内容搜集整理于网络，不代表本站同意文章中的说法或者描述。文中陈述文字和内容未经本站证实，其全部或者部分内容、文字的真实性、完整性、及时性本站不做任何保证或者承诺，并且本站对内容资料不承担任何法律责任，请读者自行甄别。如因文章内容、版权和其他问题侵犯了您的合法权益请联系邮箱：5 146 761 13 @qq.com 进行删除处理，谢谢合作！
