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近日，迈为股份自主研发的半导体晶圆热压键合设备成功交付国内MEMS传感器头部企业，该批设备将应用于客户先进MEMS传感器的规模化生产线。
标签： MEMS传感器 迈为股份 半导体 晶圆 企业
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